Auswirkungen des Abbremsvorganges von Ionen in dünnen Schichten untersucht mittels KARMA am Beispiel der Hochdosisionenimplantation, der Dosisabhängigkeit der Zerstäubungsausbeute und der Verbreiterung von Grenzschichten: (KARMA: Kombinierte Auger-Röntgen-Mikroanalyse)
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