%0 Thesis %1 schulz2003nanoimprint %A Schulz, Hubert %D 2003 %K %T Nanoimprint - Heißprägen als Lithographieverfahren im Mikrometer und Nanometerbereich

@phdthesis{schulz2003nanoimprint, added-at = {2023-12-12T23:50:42.000+0100}, author = {Schulz, Hubert}, biburl = {https://www.bibsonomy.org/bibtex/2ba95e197a3333883175fbd8e2dd0dcb2/admin}, dnbtitleid = {972397175}, interhash = {5b149af3eadb19203e4c2bafa6a2769f}, intrahash = {ba95e197a3333883175fbd8e2dd0dcb2}, keywords = {}, school = {Uni Wuppertal}, timestamp = {2023-12-12T23:50:42.000+0100}, title = {Nanoimprint - Heißprägen als Lithographieverfahren im Mikrometer und Nanometerbereich}, year = 2003 }