En utilisant une d?marche de type "Chimie du Solide", le r?le des
principaux facteurs caract?risant la surface du substrat (composition
chimique, structure et liaisons chimiques) sur la germination de
cristallites de diamant, ainsi que leur morphologie, a ete mis en
?vidence. La densit? de nucl?ation et le rapport Csp2/Csp3 ont pu
notamment etre corr?l?s a la diffusion du carbone dans le substrat.
Afin de contr?ler celle-ci, des couches superficielles de composes
covalents tels que les nitrures et les borures ont ?t? utilis?es.
Elles ont permis d'atteindre des densit?s tr?s importantes de nucl?i
de diamant pour des temps de d?p?t relativement courts. L'ensemble
des r?sultats concernant le d?p?t par h?t?ro?pitaxie du diamant a
permis de proposer une m?thodologie au niveau du choix du substrat
et des esp?ces r?actives pour l'obtention de couches minces de nitrure
de bore cubique.
%0 Thesis
%1 Michau95
%A Michau, D.
%D 1995
%K ? Bore CVD Carbone Compos? Couche Croissance Diamant Diffusion Etude Germination R?seau Substrat binaire cristalline cubique en exp?rimentale mince nitrure phase transport vapeur
%R oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00143406_v1
%T Etude de l'influence du substrat sur la formation de films de diamant.
Application au d�veloppement de couches minces de nitrure de bore
cubique
%U http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00143406/fr/
%X En utilisant une d?marche de type "Chimie du Solide", le r?le des
principaux facteurs caract?risant la surface du substrat (composition
chimique, structure et liaisons chimiques) sur la germination de
cristallites de diamant, ainsi que leur morphologie, a ete mis en
?vidence. La densit? de nucl?ation et le rapport Csp2/Csp3 ont pu
notamment etre corr?l?s a la diffusion du carbone dans le substrat.
Afin de contr?ler celle-ci, des couches superficielles de composes
covalents tels que les nitrures et les borures ont ?t? utilis?es.
Elles ont permis d'atteindre des densit?s tr?s importantes de nucl?i
de diamant pour des temps de d?p?t relativement courts. L'ensemble
des r?sultats concernant le d?p?t par h?t?ro?pitaxie du diamant a
permis de proposer une m?thodologie au niveau du choix du substrat
et des esp?ces r?actives pour l'obtention de couches minces de nitrure
de bore cubique.
@phdthesis{Michau95,
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principaux facteurs caract?risant la surface du substrat (composition
chimique, structure et liaisons chimiques) sur la germination de
cristallites de diamant, ainsi que leur morphologie, a ete mis en
?vidence. La densit? de nucl?ation et le rapport Csp2/Csp3 ont pu
notamment etre corr?l?s a la diffusion du carbone dans le substrat.
Afin de contr?ler celle-ci, des couches superficielles de composes
covalents tels que les nitrures et les borures ont ?t? utilis?es.
Elles ont permis d'atteindre des densit?s tr?s importantes de nucl?i
de diamant pour des temps de d?p?t relativement courts. L'ensemble
des r?sultats concernant le d?p?t par h?t?ro?pitaxie du diamant a
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