PhD thesis,

Etude de l'influence du substrat sur la formation de films de diamant. Application au d�veloppement de couches minces de nitrure de bore cubique

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Universit� Sciences et Technologies - Bordeaux I, (1995)
DOI: oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00143406_v1

Abstract

En utilisant une d?marche de type "Chimie du Solide", le r?le des principaux facteurs caract?risant la surface du substrat (composition chimique, structure et liaisons chimiques) sur la germination de cristallites de diamant, ainsi que leur morphologie, a ete mis en ?vidence. La densit? de nucl?ation et le rapport Csp2/Csp3 ont pu notamment etre corr?l?s a la diffusion du carbone dans le substrat. Afin de contr?ler celle-ci, des couches superficielles de composes covalents tels que les nitrures et les borures ont ?t? utilis?es. Elles ont permis d'atteindre des densit?s tr?s importantes de nucl?i de diamant pour des temps de d?p?t relativement courts. L'ensemble des r?sultats concernant le d?p?t par h?t?ro?pitaxie du diamant a permis de proposer une m?thodologie au niveau du choix du substrat et des esp?ces r?actives pour l'obtention de couches minces de nitrure de bore cubique.

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