%0 Thesis %1 stephani1981beitrag %A Stephani, Dietrich %D 1981 %K %T Ein Beitrag zur automatischen Markenerkennung in der Elektronenstrahl-Lithographie

@phdthesis{stephani1981beitrag, added-at = {2023-12-13T07:19:56.000+0100}, author = {Stephani, Dietrich}, biburl = {https://www.bibsonomy.org/bibtex/275fc06c0c2b9a6f9347970ad723d8da2/admin}, dnbtitleid = {811033279}, interhash = {b7bb267fded527228f28dcc05928572e}, intrahash = {75fc06c0c2b9a6f9347970ad723d8da2}, keywords = {}, school = {TU Aachen}, timestamp = {2023-12-13T07:19:56.000+0100}, title = {Ein Beitrag zur automatischen Markenerkennung in der Elektronenstrahl-Lithographie}, year = 1981 }