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Fabrication tolerance evaluation of high efficient unidirectional optical coupler for though silicon photonic via in optoelectronic 3D-LSI.

A. Noriki, K. Lee, J. Bea, T. Fukushima, T. Tanaka, und M. Koyanagi. 3DIC, Seite 1-4. IEEE, (2011)

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BibSonomy

Disambiguierung von "Tanaka, Tetsu"