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%0 Thesis
%1 kahl1990physikalische
%A Kahl, Michael
%A Mehr, Wolfgang
%D 1990
%K
%T Physikalische und technologische Probleme bei der Realisierung von MOS-Transistoren mit min. Strukturabmessungen < 0,5 μm
@phdthesis{kahl1990physikalische,
added-at = {2023-12-14T14:36:06.000+0100},
author = {Kahl, Michael and Mehr, Wolfgang},
biburl = {https://www.bibsonomy.org/bibtex/283674178307e814cba9b66ebe7101086/admin},
dnbtitleid = {920326099},
interhash = {e12b1b0abfb89c9a0883a30263ffa544},
intrahash = {83674178307e814cba9b66ebe7101086},
keywords = {},
school = {TU Chemnitz},
timestamp = {2023-12-14T14:36:06.000+0100},
title = {Physikalische und technologische Probleme bei der Realisierung von MOS-Transistoren mit min. Strukturabmessungen < 0,5 μm},
type = {habilitation},
year = 1990
}