%0 Thesis %1 krujatz2003herstellung %A Krujatz, Jörg %D 2003 %K %T Herstellung von Spiegelschichtsystemen auf der Basis von Aluminium und Silber für den Einsatz in der Mikrosystemtechnik

@phdthesis{krujatz2003herstellung, added-at = {2023-12-13T00:08:00.000+0100}, author = {Krujatz, Jörg}, biburl = {https://www.bibsonomy.org/bibtex/25efdbec1803764870cd1bd13151508b8/admin}, dnbtitleid = {96878349X}, interhash = {5f36e3b7b19b8b32f1e178d13013c924}, intrahash = {5efdbec1803764870cd1bd13151508b8}, keywords = {}, school = {TU Chemnitz}, timestamp = {2023-12-13T00:08:00.000+0100}, title = {Herstellung von Spiegelschichtsystemen auf der Basis von Aluminium und Silber für den Einsatz in der Mikrosystemtechnik}, year = 2003 }