%0 Thesis %1 behrens1997einflu %A Behrens, Kai-Michael %D 1997 %K %T Einfluß der schnellen thermischen Prozeßführung auf die Struktur dünner Siliciumoxynitridschichten

@phdthesis{behrens1997einflu, added-at = {2023-12-14T15:08:43.000+0100}, author = {Behrens, Kai-Michael}, biburl = {https://www.bibsonomy.org/bibtex/21da0c76e6f96b5774048df5ed15f2d9f/admin}, dnbtitleid = {953036995}, interhash = {e7b38bb6aa48e32b82fe436285da89ad}, intrahash = {1da0c76e6f96b5774048df5ed15f2d9f}, keywords = {}, school = {Uni Rostock}, timestamp = {2023-12-14T15:08:43.000+0100}, title = {Einfluß der schnellen thermischen Prozeßführung auf die Struktur dünner Siliciumoxynitridschichten}, year = 1997 }