%0 Report %1 TR231 %A Dümmler, Mathias %C Department of Computer Science %D 1999 %K myown %N 231 %T Simulation und Leistungsbewertung von Cluster Tools in der Halbleiterfertigung. %U http://www-info3.informatik.uni-wuerzburg.de/TR/tr231.pdf %X Cluster Tools kommen in den letzten Jahren verstärkt bei der Fertigung von Halbleiterchips zum Einsatz. In diesem Beitrag wird auf die wesentlichen Eigenschaften von Cluster Tools und auf die Probleme bei deren Einsatz eingegangen. Ein Programm zur Modellierung und Simulation von Cluster Tools wird vorgestellt. Anhand einer Studie wird die Verwendung des Simulators in Kombination mit Genetischen Algorithmen zur Verbesserung der Durchlaufzeiten in Cluster Tools demonstriert.

@techreport{TR231, abstract = {Cluster Tools kommen in den letzten Jahren verstärkt bei der Fertigung von Halbleiterchips zum Einsatz. In diesem Beitrag wird auf die wesentlichen Eigenschaften von Cluster Tools und auf die Probleme bei deren Einsatz eingegangen. Ein Programm zur Modellierung und Simulation von Cluster Tools wird vorgestellt. Anhand einer Studie wird die Verwendung des Simulators in Kombination mit Genetischen Algorithmen zur Verbesserung der Durchlaufzeiten in Cluster Tools demonstriert. }, added-at = {2015-06-18T10:00:28.000+0200}, address = {Department of Computer Science}, author = {Dümmler, Mathias}, biburl = {https://www.bibsonomy.org/bibtex/262faf40b82c1a8ae6048cb99d2928598/trcsuniwue}, interhash = {ea90a148599182e641b7c53b2e26f612}, intrahash = {62faf40b82c1a8ae6048cb99d2928598}, keywords = {myown}, month = {July}, number = 231, timestamp = {2015-06-18T10:00:28.000+0200}, title = {Simulation und Leistungsbewertung von Cluster Tools in der Halbleiterfertigung.}, type = {Technical Report}, url = {http://www-info3.informatik.uni-wuerzburg.de/TR/tr231.pdf}, year = 1999 }